科技成果

高速大行程的气压半悬浮二自由度共基面运动工作台

发布日期:2007-07-10浏览量:

申请号:
200710018229.8
专利类型:
发明
发明人:
丁玉成、刘红忠、陈小明、占 艳、卢秉恒
申请日期:
20070710
代理人: